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我國(guó)科學(xué)家首次獲得納米級(jí)光雕刻三維結(jié)構(gòu)

發(fā)布時(shí)間:2022-09-15 10:01:00來源: 央視新聞客戶端

  14日夜,國(guó)際頂級(jí)學(xué)術(shù)期刊《自然》發(fā)表了我國(guó)科學(xué)家在下一代光電芯片制造領(lǐng)域的重大突破。南京大學(xué)張勇、肖敏、祝世寧領(lǐng)銜的科研團(tuán)隊(duì),發(fā)明了一種新型“非互易飛秒激光極化鐵電疇”技術(shù),將飛秒脈沖激光聚焦于材料“鈮酸鋰”的晶體內(nèi)部,通過控制激光移動(dòng)的方向,在晶體內(nèi)部形成有效電場(chǎng),實(shí)現(xiàn)三維結(jié)構(gòu)的直寫和擦除。這一新技術(shù),突破了傳統(tǒng)飛秒激光的光衍射極限,把光雕刻鈮酸鋰三維結(jié)構(gòu)的尺寸,從傳統(tǒng)的1微米量級(jí)(相當(dāng)于頭發(fā)絲的五十分之一),首次縮小到納米級(jí),達(dá)到30納米,大大提高了加工精度。

  這一重大發(fā)明,未來或可開辟光電芯片制造新賽道,有望用于光電調(diào)制器、聲學(xué)濾波器、非易失鐵電存儲(chǔ)器等關(guān)鍵光電器件芯片制備,在5G/6G通訊、光計(jì)算、人工智能等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。

(責(zé)編:李雨潼)

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